Über 60 Jahre Erfahrung mit Elektronenstrahlverfahren und mehr als 45 Jahre Kompetenz in der Vakuumbeschichtung machen VON ARDENNE zu einem weltweit führenden Anbieter von Anlagen und Technologien in der PVD-Dünnschichttechnik und der Vakuumprozesstechnik.
VON ARDENNE hat die Fähigkeit, Anforderungen an Produkteigenschaften in effiziente und wettbewerbsfähige Beschichtungslösungen zu übersetzen – eine wesentliche Voraussetzung für individuelle Maschinenkonzepte.
VON ARDENNE ist ein innovatives Unternehmen mit eigener Forschung und Entwicklung. Damit dies in einem internationalen Umfeld möglich ist, gehen wir sorgfältig mit geistigem Eigentum um. Dazu gehören sowohl die geistigen Eigentumsrechte Dritter als auch unser eigenes geistiges Eigentums wie Innovationen, kreative Ideen und Erfindungen.
Unsere Strategie erfordert die gezielte Recherche nach aktuellen Schutzrechten an geistigem Eigentum sowie den konsequenten Schutz unserer eigenen technologischen Errungenschaften.
Wir können auf mehr als 700 nationale und internationale Patentanmeldungen, Patente und Gebrauchsmuster in allen relevanten technologischen Bereichen bauen.
VON ARDENNE-Beschichtungsanlagen und -komponenten kommen in verschiedenen Industriebereichen und für viele Anwendungen zum Einsatz. So verschieden wie die Einsatzgebiete sind auch die Substrate, die mit unserer Technik beschichtet werden. Die Vielfalt reicht vom
Wir haben die Kompetenz im Handling und verfügen über umfangreiche Erfahrung, um die gewünschten Funktionsschichten auf all diesen verschiedenen Substraten aufzubringen.
Dieses Know-how fließt kontinuierlich in unsere Innovationen ein und ist unerlässlich, um Handling- und Beschichtungslösungen für anspruchsvolle Substrate wie flexibles Glas zu finden.
VON ARDENNE begleitet seine Kunden von der ersten Idee, über das Labor- und Pilotstadium bis hin zur Skalierung für die industrielle Produktion.
HEIZUNGSSTEUERUNG, GLIMMEINRICHTUNG UND SPUTTERÄTZEN
Die meisten PVD-Beschichtungsverfahren bedürfen einer angemessenen Vorbehandlung, um eine gute Haftung und ausgezeichnete Schichteigenschaften zu erzielen. In Abhängigkeit von Substrat und der aufzubringenden Schicht können verschiedene Vorbehandlungsverfahren in VON ARDENNE-Anlagen integriert werden.
Ein regelbares Heizsystem wird verwendet, um Wasser und andere flüchtige Verunreinigungen der Oberfläche von Substraten wie Glas, Kunststofffolie oder Metallband zu entfernen. Das Erhitzen übernehmen verschiedene Arten von Strahlungsheizern entsprechend ihrer Heizleistung und ihres Wellenlängenspektrums. Elektronenstrahlheizungen kommen zum Einsatz, wenn sehr hohe Heizleistungen für leitfähige Substrate nötig sind.
Für hitzeempfindliche Substrate werden Glimmeinrichtungen verwendet. Sie verhindern durch niedrigenergetischen Ionenbeschuss in einer Umgebung aus Argon und/oder Reaktivgasen hohe Substrattemperaturen.
Sputter-Ätzen ist geeignet, um feste Verunreinigungen sowie Substratmaterial durch Beschuss mit Atomen und Ionen unter hoher Energie (~ 100 eV) zu entfernen. Abhängig von der Anwendung werden Vorrichtungen zum Magnetron-Sputter-Ätzen, inversen Hochfrequenzätzen oder linearen Ionenquellen (LION) verwendet.
WIE ES FUNKTIONIERT UND WAS WIR IHNEN BIETEN
Beim Magnetron-Sputtern (Katodenzerstäubung) wird eine magnetfeldverstärkte Plasmaentladung im mittleren Vakuum und in einer bestimmten Gasatmosphäre generiert. Durch Beschuss des als Katode fungierenden Beschichtungsmaterials (Target) mit positiven Gasionen werden einzelne Atome aus der Target-Oberfläche geschlagen. Diese Atome kondensieren auf dem zu beschichtenden Substrat als kontinuierliche Dünnschicht. Magnetron-Sputter-Quellen ermöglichen die präzise Abscheidung von komplexen Schichtsystemen mit gleichförmigen Schichtdicken auf großen Flächen.
Die Schlüsselkomponenten für das Magnetron-Sputtern sind sogenannte Magnetrons, auch Magnetron-Sputter-Quellen genannt. Wir fertigen alle Schlüsselkomponenten für unsere Anlagen im eigenen Hause.
VON ARDENNE Magnetrons sind für eine Vielzahl von Anwendungen verfügbar. Dank der langjährigen Erfahrung aus der Entwicklung und Installation von modernsten Sputter-Komponenten, können wir ein komplettes Portfolio an Magnetrons für Wechselstrom- und Gleichstromprozesse, in planarer oder rotierender Ausführung und sogar mit integrierten Turbopumpen bieten.
All unsere Magnetbars und Magnetsysteme sind in ihrer Bauweise ähnlich und damit einfach gegeneinander auszutauschen. Sie bieten die folgenden Vorteile:
VON ARDENNE bietet verschiedene Anodenarten, um den den Anforderungen vieler Branchen und Anwendungen gerecht zu werden.
Es gibt einfache Lösungen wie die Dunkelfeldabschirmung als Anode für unsere planaren Magnetrons oder anspruchsvollere Designs wie das Doppel-Anodensystem (DAS) für Rotatable Magnetrons.
Unsere neuesten Entwicklungen:
FUNKTION UND ERFAHRUNG
Der Elektronenstrahl ist ein leistungsfähiges Werkzeug zum Erwärmen, Schmelzen und Verdampfen von Metallen und Verbindungen.
Der durch die Elektronenkanone im Vakuum erzeugte und schnell ablenkbare Strahl wird in einen Tiegel auf das zu verdampfende Beschichtungsmaterial gerichtet und durch dynamische Ablenkung auf der Oberfläche sinnvoll positioniert. Der hohe Leistungseintrag der Elektronenstrahlen in das Material führt bei Beschichtungsaufgaben zur Ausbildung eines Dampfstroms mit hoher Rate, der auf das zu beschichtende Substrat trifft und sich dort niederschlägt.
Auf diese Weise wird das Substrat mit einer dünnen Funktionsschicht überzogen. Dabei kann das Substrat durch den Dampfstrom bewegt werden.
Durch Elektronenstrahlverdampfung sind ca. 10 bis 100-fach höhere Beschichtungsraten gegenüber dem Magnetron-Sputtern mit jeweils einer Quelle erzielbar.
VON ARDENNE entwickelt und fertigt Elektronenstrahlsysteme, die zum Schmelzen, Schmelzreinigen, Bedampfen oder zur Wärmebehandlung eingesetzt werden.
Die erste Elektronenstrahlkanone wurde schon 1960 im Forschungsinstitut Manfred von Ardenne entwickelt. Die Erfahrung aus über 60 Jahren spiegelt sich weltweit in über 400 installierten Elektronenstrahlsystemen.
Unsere aktuellen Elektronenkanonen EH150V, EH300V und EH800V sind die leistungsstärksten der Welt. In unserem Entwicklungszentrum für Elektronenstrahltechnologien arbeiten wir an der ständigen Verbesserung unserer Schlüsselkomponenten. Hier fertigen und prüfen wir auch unsere hochwertigen Elektronenstrahlkanonen.
ANWENDUNGEN
PECVD & THERMISCHES VERDAMPFEN
VON ARDENNE bietet neben den bereits beschriebenen Technologien zwei weitere, mit denen unsere Anlagen ausgerüstet werden können, um homogene und zuverlässige Funktionsschichten abzuscheiden: PECVD und thermisches Verdampfen.
Bei den PECVD Verfahren (plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung) kommen folgende Quellentypen zum Einsatz:
Die thermischen Verdampfungsverfahren arbeiten mit:
Mit PECVD und thermischem Verdampfen lassen sich folgende Schichten und Schichtfunktionen erzeugen:
Als Prekursoren kommen in beiden Fällen Hexamethyldisiloxan (HMDSO) oder Tetramethyldisiloxan (TMDSO) zum Einsatz.
Temperprozesse sind in der Dünnschichttechnologie häufig das Mittel der Wahl, um elektrische oder optische Eigenschaften zu verbessern. Herkömmliche Temperprozesse sind jedoch energie- und zeitintensiv.
Darüber hinaus verursachen sie thermo-mechanische Spannungen im Substrat, die zu Defekten führen können. Hinzu kommen lange Aufheizvorgänge, die in der Dünnschichttechnologie zu Diffusionsprozessen führen und den Einsatz zusätzlicher Barriereschichten erforderlich machen. Der Fertigungsprozess wird somit aufwändiger.
Demgegenüber bietet Flash lamp annealing entscheidende Vorteile: es verursacht keine oder nur sehr geringe thermo-mechanische Spannungen im Substrat und Diffusionsprozesse werden unterdrückt. Damit sind zusätzliche Barriereschichten überflüssig.
Wir bieten unsere Kompetenz in der Flash lamp annealing-Technologie an, um gemeinsam mit unseren Partnern weitere Anwendungen zu entwickeln.
Vielversprechende Einsatzgebiete
Leitfähige Schichten wie Metalle und Metallpasten, Metalloxide, Halbleiter für
Entspiegelungs-, Korrosionsschutz- und kratzfeste Sol-Gel-Schichten für
Reflektierende und dekorative Schichten wie Farben, Lacke und Verbundwerkstoffe für
Qualitätssicherung, Qualitätsüberwachung für Beschichtungen auf Glas
• Funktionelle Beschichtungen für die Photovoltaik
• Optische Beschichtungen, Beschichtungen mit niedriger Emissivität
Optische Charakterisierung und Schichtwiderstandsmessung
Verbessern Sie Ihre Qualität durch einfachere Qualitätskontrolle (QC)
Verbessern Sie Ihre Qualität durch bessere Qualitätssicherung (QS)
Flexibel und individualisierbar
VON ARDENNE verfügt über mehr als 45 Jahre Erfahrung in der Vakuumbeschichtung und hohe Kompetenz in der Multiskalensimulation
Wir beschleunigen die Produktentwicklung und Upgrades durch die Reduzierung des Konstruktionsaufwandes mit modernster Modellierung und Simulation für
Niederdruckgasstrom für optimale Gaszufuhr
DSMC - Direktsimulation Monte Carlo
Die Simulation von Niederdruckgasverteilungen in Prozesskammern erfordert spezielle numerische Verfahren und eine hohen Rechenaufwand. Die DSMC Methode wird bei VON ARDENNE bereits in der Konstruktion und Design-Phase eingesetzt, um die beste Gasverteilung zu erreichen.
Plasmaverfahren und Magnetfeld für hervorragendes Schichtwachstum
PICMC - PARTICLE IN CELL MONTE CARLO
Innovative Dünnschichttechnologie zeichnet sich durch Schichthomogenität, hohe Targetausnutzung, schichtoptimierte Prozessgestaltung und andere technologische Anforderungen aus. Bei VON ARDENNE, kommen Plasma- und Magnetfeldsimulationen zum Einsatz, um die entscheidenden physikalischen Prozess zu analysieren und zu verbessern, die für das Schichtwachstum verantwortlich sind.
Optische Simulation für hervorragende Schichteigenschaften
RAY TRACING UND DÜNNSCHICHTEIGENSCHAFTEN
Optische Simulationen sind weit verbreitet, um das effizienteste Design für VON ARDENNE Komponenten zu finden, die mit Blitzlampen zum Tempern und Strukturierungstechnik ausgestattet sind. Darüber hinaus werden die Schichtparameter durch Simulationsmethoden optimiert, so dass die optischen Eigenschaften den Anforderungen entsprechen.
Finite-Elemente-Simulationen für beste Beschichtungsergebnisse
MECHANISCH, THERMISCH, CFD, MULTIPHYSIKALISCH
FE-Simulationen für die Analyse und Optimierung verschiedener physikalischer Prozesse in Kombination mit langjähriger Erfahrung sind wesentliche Voraussetzungen für VON ARDENNE Beschichtungssysteme, um die hohen Qualitätsanforderungen unserer Kunden zu erfüllen.
AUFGABEN
Unterstützung unserer Kunden und Industrie, Forschung und Entwicklung mit
Komplette Testausrüstung für Elektronenstrahlsysteme
Wir haben einen Prüfstand für:
Metallband-Beschichtungsanlage
Bemusterungsanlage für Elektronenstrahl-PVD
Hardware-Tests von und Prozessentwicklung für
Wir verfügen über verschiedene Beschichtungssysteme für die Tests und Bemusterungen:
VIOLA
ELISA
ADELE
VON ARDENNE ist Teil eines großen wissenschaftlichen Netzwerkes und kann darüber zusätzliche Musterbeschichtungen und Analysemethoden anbieten.
Wir verfügen außerdem über weitere Laboranlagen für Technologie- und Anwendungsentwicklung, u. a. in den Bereichen Flash-Lamp Annealing und Organik-Verdampfung.
Wir sind offen für neue Themen! Wenn Sie für eine Anwendung auf der Suche nach einer Beschichtungslösung sind, kommen Sie auf uns zu.
Unsere Kunden können sich auf unsere Erfahrung und unser Know-how verlassen, die im Folgenden beschrieben sind.
WIR BIETEN:
